产品介绍
俄歇电子能谱仪（AES），是通过采集俄歇电子，分析材料的表层化学成分定性或定量信息的仪器，主要应用于表层轻微元素分析。俄歇电子能谱仪的结构由置于超高真空的旋转式样品台、电子枪（激发源）、聚焦离子枪、电子能量分析器、电子探测器等部件组成主，并配有计算机进行数据处理。
主要技术参数：
1、适用于旗型样品托,高精度4维样品台（X Y Z +旋转）
2、样品加热温度可达：1000℃以上，洁净加热器
3、系统本底真空：10-11 Torr 量级
4、采用整体加工一体成型腔室
5、电子枪具备聚焦和扫描功能
6、配备双筒棱镜电子能量分析器
1）俄歇电子动能1000 e V时能量分辨好于1.4 eV2）可采集动能范围 0 - 2500 e V
3）电子枪束斑可以小到80微米
4）电子枪束流可以达到80微安
5）电子束能量20 eV～5 keV
