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产品介绍

生长腔和进样腔为SUS 316L不锈钢材质整体加工而成。

超小型化的设计(内径250mm/350mm),有效节省宝贵的实验室空间 , 适合与其它超高真空表征仪器连接 , 组成原位的生长-测量联合系统,例如MBE-ARPES,MBE-STM等。

采用开放式结构设计,拥有数量众多的标准法兰接口。生长腔标配膜厚测量仪,五轴变温样品台,最多可装配10个蒸发源,非常适合半导体原子层薄膜材料的生长需求。

      

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