超高真空排气台主要用于器件的排气，SSI在超高真空排气台行业拥有多年的项目经验，可以根据客户的需求定制工艺过程。
主要技术参数：
1、系统极限真空度高，系统的极限真空可达10-8Pa 量级。
2、整个真空抽气系统和真空测量系统采用进口配置，性能稳定，可靠性高，全无油设计，无油气污染。
3、多个抽气工位（可以根据客户的要求定制对接接头），生产效率高。
4、触摸屏显示，方便简单；电控参数可任意设定，便于用户数据储存及工艺调试。
