产品介绍
五轴高低温样品台主要用于MBE、LT - STM等薄膜制备及表征系统中。可实现样品五轴运动,样品高温可到1000℃,样品低温可小于100 K。
主要技术参数:
1)五轴运动:X Y ±12.5 m 行程,手动驱动,精度 0.002 mm;Z 500 mm行程(可定制),电动驱动,精度0.01 m m;Polar ± 180°旋转;Azimuthal 360°连续旋转
2)五轴运动均可选择手动或电动驱动
3)适用于旗型样品托
4)液氮低温制冷:最低温度<100K(样品托温度)
5)电子束加热温度范围:室温-1000℃(样品托温度)
6)电阻加热温度范围:室温-800℃(样品托温度)
7) 直流样品台(仅四轴运动):闪规直流加热
8) 真空漏率:<1x10-12 Pa.m3 /s
9)最高烘烤温度:150 ℃
1)使用真空范围:超高真空环境
(备注:液氮低温制冷、电子束加热、电阻加热、直流样品台为可选功能,可根据需求合理组合,可定制其他功能。)
测试数据:
样品台加热升温曲线
液氮制冷样品台降温曲线