产品介绍
五轴高低温样品台主要用于MBE、LT - STM等薄膜制备及表征系统中。可实现样品五轴运动，样品高温可到1000℃，样品低温可小于100 K。
主要技术参数：
1）五轴运动：X Y ±12.5 m 行程，手动驱动，精度 0.002 mm；Z 500 mm行程（可定制），电动驱动，精度0.01 m m；Polar ± 180°旋转；Azimuthal 360°连续旋转
2）五轴运动均可选择手动或电动驱动
3）适用于旗型样品托
4）液氮低温制冷：最低温度＜100K（样品托温度）
5）电子束加热温度范围：室温-1000℃（样品托温度）
6）电阻加热温度范围：室温-800℃（样品托温度）
7） 直流样品台（仅四轴运动）：闪规直流加热
8） 真空漏率：＜1x10-12 Pa.m3 /s
9）最高烘烤温度：150 ℃
1）使用真空范围：超高真空环境
（备注：液氮低温制冷、电子束加热、电阻加热、直流样品台为可选功能，可根据需求合理组合，可定制其他功能。）
测试数据：
样品台加热升温曲线
液氮制冷样品台降温曲线
