产品介绍
多功能整体腔室
1）整体腔室是由不锈钢整体加工而成，没有焊缝，避免焊接泄漏的风险
2）整体腔室具有众多标准法兰接口，方便功能扩展
3）所有产品均适用于10-11Torr超高真空环境
视窗挡板
1）视窗挡板分为标准视窗挡板、全遮挡视窗挡板及百叶窗视窗挡板
2）视窗挡板规格：CF35,CF63,CF100,CF150
3）适用于10-11Torr真空环境
快速进样门
1）快速进样门采用柔性铰链机构，关闭更加可靠
2）快速进样门有带视窗版和盲板两种类型
3）快速进样门规格：CF35,CF63,CF100,CF150,CF200
4）适用于10-9 Torr真空环境
