超高真空束源除气系统主要用于对MBE束源、单独坩埚进行除气及储存。SSI可根据客户束源炉、坩埚定制除气及储存系统。
主要技术参数：
1、系统极限真空：10-10Torr量级
2、可以定制不同数量的除气及储存工位
3、控制系统可配置束源除气程序
4、系统配置多路冷却水循环系统
5、系统采用整体热风循环烘烤方式，烘烤更便捷
6、除气工位配置冷却水套及Shutter
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