•  分子束外延蒸发源(MBE Cell)
分子束外延蒸发源(MBE Cell)

产品介绍

束源是专用于分子束外延(MBE)的核心部件之一,它可以在超高真空环境下,通过精确加热控温坩埚内的被蒸发物或通过电子束加热金属材料在衬底上沉积多种所需要的单层或多层薄膜。

Effusion Cell

1)自带水冷套及shutter(手动和气动可选);2)坩埚材质:PBN、Al2O3、Ta等;3)中温束源温度:室温~ 1 4 0 0℃

E-beam Evaporator
K-Cell Heater 控制器