UHV功能件

旋转,移动调节机构
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机械手,样品抓手,样品托
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整体腔室,视窗挡板,快速进样门
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高低温样品台
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五轴高低温样品台
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激光加热器(Laser Heater)
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烘烤除气
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氩离子枪
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