•  工业型电子束镀膜(EBE-1000)
工业型电子束镀膜(EBE-1000)

产品介绍

        工业级电子束蒸镀机主要用于钛、铝、钼、铜、锌等金属物以及氮化钛、二氧化硅等化合物材料的高速生长沉积,从而实现高效大批量产能。

        电子枪可以容纳多个坩埚(最多8个),实现多种材料交替沉积或配双电子枪实现共沉积的镀膜工艺。采用高精度的双探头膜厚测量仪,对镀膜过程进行全程在线监控,配备镀膜均匀挡板,可以轻松实现良好的大衬底的膜厚均匀性。

主要技术参数:

1)衬底尺寸:4英寸、6英寸、8英寸

2)衬底个数:4、6、8、12等可选

3)沉积均匀性:±3%

4)样品架形式:穹顶式、行星式可选

5)衬底加热温度:室温至450℃,旋转速率0-20rpm

6)离子源辅助沉积镀膜及样品清洗功能可选

7)多种电子枪坩埚个数和容积的组合可选

8) 电子枪个数:单个或两个可选

9)双探头QCM膜厚在线监控
10)蒸发本底真空:10-8 Torr高真空

11)主抽真空泵:低温泵

12)维护模式或全自动或手动控制模式可选