•  粗真空原位转运腔
粗真空原位转运腔

产品介绍

主要技术参数:

1)粗真空 本底极限真空 10-7Torr量级

2)24小时升压小于1Torr

3)适用于样品的粗真空(优于1Torr)的转运

4)样品架:根据客户要求可定制

5)重量:约3kg

6)配备真空表,可全程监控真空度

7)自带充气接口与抽真空阀及结构

8)漏率是优于1.0 x 10-12Pa.m3/s

9)可选附件:保温烘烤衣