产品介绍
1、真空互联系统（LTS）：
为了避免由于样品表面污染而造成的改变与损伤，薄膜材料通常需要放置于真空环境中。只有在真空度优于10-10Torr数量级的超高真空环境中，原子级干净的表面才可能保持数小时，从而使得原子层生长、表面/界面控制和本征性质表征成为可能。
真空互联总体分成两大类：直线真空互联及RDC互联。
直线真空互联通过直线超高真空管道将多个工作站互联起来组成完整的薄膜制备、表征的原位系统。样品小车在超过真空管道内直线运动，样品小车上可装载数个样品或样品托。采用磁力耦合机械手将样品或样品托真空互联管道与工作站之间进行交互传送。
这样，薄膜制备设备与各表征仪器设备之间实现了超高真空的互联，从而实现样品结构和器件性能的原位表征。并且，不同材料的薄膜沉积需要不同的薄膜沉积工艺，结合起来就可以制备出独特的多层结构样品。也就是说在本底真空优于10-10Torr数量级的超高真空环境下，新鲜制备的样品可以从生长室直接通过真空管道输送到各个表征分析室，从而保护样品表面免受氧化或与大气暴露相关的其他结构或化学变化。
2、SSI真空互联系统概述及特点：
2.1 样品小车上基片（或样品托）尺寸：18mm，2英寸，3英寸，4英寸
2.2 样品小车上基片（或样品托）数量：6-12可选
2.3 全自动或半自动或手动控制模式可选
2.4 不仅仅可是实现水平方向的互联，也可以实现垂直方向的互联
2.5 本底极限真空：优于10-10Torr
2.6 Load-Lock样品进样烘烤、预清洗功能可选
2.7进样室可选
2.8 系统烘烤形式：电热带或整体烘烤可选
