•  超高真空转运腔
超高真空转运腔

产品介绍

UHV Suitcase 主要用于超高真空系统间样品的传递与样品储存。

主要特点:

1、UHV腔室采用316L不锈钢整体加工而成,与传统焊接腔室相比具有如下优势:1)避免焊接可能造成的泄漏;2)在相同法兰个数的情况下,样品储存腔内表面积减小40%,更有利于系统的极限真空;重量减20%,更利于携带

2、结构紧凑,占地面积小,总重量13kg

3、极限真空 10-11torr量级,仅用吸气剂泵可长时间维持 10-10 torr量级

4、多种旗形样品托抓手可供选择

5、可选择Z向运动或Z向+旋转,适用于不同应用

6、机械手可配置Wobble Stick 或 Transfer Arm

7、可选配置移动电源,为离子泵控制提供长达20天供电

8、可选配行李箱,用于远距离运输

      

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