产品介绍
RDC（Radial Distribution Center）真空互联系统非常适用于需要互联的工作站数量不多的情况（比如3-5个，最多8个），布局一般是各工作站环绕在RDC的四周，形成一个Cluster原位系统。RDC作为样品传输的中心枢纽，通过其自带的磁力耦合机械手的旋转及伸缩功能将样品在各工作站之间来回转运。
SSI的RDC真空互联特点：
1）磁力驱动机械手：2维运动（旋转+直线）和3维运动（上下+旋转+直线）可选
2）驱动方式：手动驱动和伺服电机驱动可选
3）机械臂伸出距离：最小760mm，可定制
4）机械臂定位精度：0.2mm
5）极限真空：10-11Torr 量级
6）系统配泵：离子泵+TSP和离子泵+NEG可选
7）工作站接口数量及规格：8*CF100或定制
8）观察视窗数量级规格：4*CF150
9）系统烘烤方式：双热风循环，最高烘烤温度200℃
